电子化学品处理装置包括若干物料罐，输送管道，真空物料罐，气动隔膜泵，其特征在于各物料罐经输送支管接输送总管再接真空物料罐，真空物料罐接气动隔膜泵，输送支管的吸入口插入物料罐底部，输送支管接有吸入量调节阀，输送总管接有排放调节阀，所述真空物料罐置有真空调节阀。

电子化学品处理专用气动隔膜泵，包括连管，所述连管的底部焊接有进水管，所述进水管靠近连管的一端滑动连接有第二球体，所述连管的内侧壁连通有出水管，所述连管的内侧壁滑动连接有第一球体，所述连管的上表面焊接有第一壳体，所述第一壳体的内部顶壁转动连接有第二杆体，内部通过螺丝将膜体固定，组成隔膜泵。

气缸外接压缩气源，气缸可以带动膜体往复运动，实现隔膜泵的输送液体的功能，液体流动带动桨叶，桨叶带动第二杆体转动，第二杆体带动第四伞齿轮，带动第二毛刷对连管的内侧壁进行冲刷，或将堵塞的大颗粒物分散，使大颗粒物被液体带走，防止对隔膜泵造成堵塞，使隔膜泵的使用寿命更长。

这是一种洁净输送方式，利用真空原理实现电子级化学品的输送，该方法能耗低，成本低，输送的流速快，具有设备简单易于安装，易于清洁，低噪音，无尘输送，操作过程易控制，对输送的产品纯度有保证，具有很好的经济效益。

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