电子级超纯水镁盐投加设备是专门为半导体、液晶面板等电子行业设计的超高纯度水处理系统。该系统采用高纯镁盐(纯度≥99999%)
作为添加剂,用于调节超纯水的特定电阻率和pH值,满足电子工业对水质ppm级甚至ppb级的严苛要求。
一、系统组成
1. 高纯药剂系统:
- 特氟龙材质储罐(防金属离子析出)
- 氮气保护装置(防止CO₂溶入)
- 纳米级过滤单元(01μm终端过滤)
2. 精密投加单元:
- 磁力驱动隔膜泵(无金属接触)
- 质量流量控制器(精度±01%)
- 超洁净管路系统(EP级,Ra≤025μm)
3. 智能控制系统:
- 双冗余PLC系统
- 在线电阻率监测(182MΩ·cm级)
- 颗粒计数器(实时监控≤005μm颗粒)
二、工作原理
1. 通过超纯水将高纯镁盐配制成ppb级浓度的溶液
2. 根据在线水质监测数据自动调节投加量
3. 采用层流混合技术确保均匀分散
4. 通过二次纯化保证最终水质达标

三、关键特性
1. 超高洁净度:
- 全系统无金属离子释放
- 符合SEMI F57标准
- 颗粒控制达到Class 1级别
2. 精准控制:
- 投加精度可达001ppb
- 响应时间<100ms
- 多参数联动控制
3. 可靠保障:
- 双重超纯水冲洗备用系统
- 异常情况自动切换
- 完整的验证文件包
四、应用场景
1. 半导体晶圆清洗用水
2. TFT-LCD面板制造
3. 光伏电池生产
4. 高端电子元器件加工

想了解更多信息请关注微信公众号“流体设备”,登录埃立特流体设备官网,网址:www.altlt.cn