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电子级超纯水镁盐投加设备
来源: | 作者:胡健强 | 发布时间 :2025-07-26 | 34 次浏览: | 分享到:

电子级超纯水镁盐投加设备是专门为半导体、液晶面板等电子行业设计的超高纯度水处理系统。该系统采用高纯镁盐(纯度≥99999%)

作为添加剂,用于调节超纯水的特定电阻率和pH值,满足电子工业对水质ppm级甚至ppb级的严苛要求。

 一、系统组成

1. 高纯药剂系统:

- 特氟龙材质储罐(防金属离子析出)

- 氮气保护装置(防止CO溶入)

- 纳米级过滤单元(01μm终端过滤)

2. 精密投加单元:

- 磁力驱动隔膜泵(无金属接触)

- 质量流量控制器(精度±01%)

- 超洁净管路系统(EP级,Ra≤025μm)

3. 智能控制系统:

- 双冗余PLC系统

- 在线电阻率监测(182MΩ·cm级)

- 颗粒计数器(实时监控≤005μm颗粒)

 二、工作原理

1. 通过超纯水将高纯镁盐配制成ppb级浓度的溶液

2. 根据在线水质监测数据自动调节投加量

3. 采用层流混合技术确保均匀分散

4. 通过二次纯化保证最终水质达标

 

 三、关键特性

1. 超高洁净度:

- 全系统无金属离子释放

- 符合SEMI F57标准

- 颗粒控制达到Class 1级别

2. 精准控制:

- 投加精度可达001ppb

- 响应时间<100ms

- 多参数联动控制

3. 可靠保障:

- 双重超纯水冲洗备用系统

- 异常情况自动切换

- 完整的验证文件包

 四、应用场景

1. 半导体晶圆清洗用水

2. TFT-LCD面板制造

3. 光伏电池生产

4. 高端电子元器件加工

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