一、关键工艺难点

1. 纯度控制：

- 原料要求：电子级Na₃PO₄（≥99.999%）

- 金属离子含量：Fe³⁺<0.1ppb，Ca²⁺<0.5ppb

- 颗粒物控制：≥0.1μm颗粒≤10个/mL

2. 稳定性挑战：

- pH敏感性（最佳范围9.2-9.8）、二氧化碳吸收导致沉淀、温度系数（每℃引起0.3%浓度波动）

二、超纯配制系统

1. 原料处理单元： 真空煅烧装置（300℃×4h去除有机物）、纳米级过滤系统（0.05μm陶瓷膜）、惰性气体保护粉碎（N₂环境）

2. 溶解系统：

- 工艺参数：溶解水：18.2MΩ·cm超纯水（在线脱气）、温度控制：30±0.1℃（PID调节）、搅拌速度：60±5rpm（磁力驱动）

3. 纯化模块：离子交换柱（核级树脂）、紫外氧化装置（185nm+254nm双波长）、终端过滤（0.02μm超滤）

三、环境控制体系

1. 洁净度保障：Class 10级洁净室（ISO 4级）、正压氮气幕（0.05MPa）、全封闭流路系统（VCR接头）

2. 过程监测：在线ICP-MS（元素检测下限0.01ppb）、激光粒子计数器（0.05μm分辨率）、露点仪（-70℃以下）

四、稳定性保持技术

1. 储存方案： 双层316L EP罐体（内充高纯氮）、恒温循环系统（25±0.5℃）、无死角设计（排水率>99.9%）

2. 输配系统： 电抛光管路（Ra≤0.1μm）、无脉冲输送泵（波动<±0.5%）、在线稀释装置（混合均匀度>99%）

五、异常处理预案

1. 纯度超标：启动深度纯化循环（3倍停留时间）、更换离子交换树脂、系统再生处理（1%HNO₃冲洗）

2. 沉淀预警：自动pH调节（0.1mol/L NaOH微调）、超声分散干预（40kHz×5min）、紧急过滤旁路