刻蚀常用化学品——Debem气动隔膜泵和Gemmecotti磁力泵的应用

很多微电子生产工艺过程需要各种化学品，包括：

CF4：
无色无臭毒性气体。不燃，若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。吸入后可引起头痛、恶心呕吐、快速窒息等。

HF：
无色透明至淡黄色冒烟的液体，有刺激性气味，具有弱酸性。腐蚀性强，对牙、骨损害较严重，对皮肤有强烈的腐蚀性作用。



HCL：
无色透明液体，为一种强酸，具有挥发性。眼和皮肤接触可致灼伤，长期接触可引起鼻炎、皮肤损害等。

HNO3：
无色透明液体，具有强氧化性、强腐蚀性，有窒息性刺激气味，在空气中冒烟，见光易分解生成NO2而显棕色。

NaOH：
白色晶体，有强烈的腐蚀性，有吸水性，可用作干燥剂，溶于水同时放出大量的热量。

Debem气动隔膜泵和Gemmecotti磁力泵非常适合处理以上化学品。

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