CMP全称为 Chemical Mechanical Polishing，即化学机械抛光。CMP技术是晶圆制造的必须流程之一，对高精度、高性能晶圆制造至关重要，在CMP材料中，抛光液和抛光垫价值占比最高。

抛光液为抛光材料主要组成部分，对加工质量影响重大。它是超细固体研磨材料和化学添加剂的混合物，为均匀分散的乳白色胶体，起到研磨、腐蚀溶解等作用，主要原料包括研磨颗粒、PH调节剂、氧化剂和分散剂等。

Debem隔膜泵是输送CMP抛光液专用气动泵，它采用PTFE（聚四氟乙烯）材质，以压缩空气为动力源，隔膜组件采用进口PTFE、橡胶等材质，抗腐蚀性能大幅提升，同时磨损程度较小，更换隔膜简便。

Debem PTFE隔膜泵具有耐腐蚀，安全无漏等特性：

1、PTFE材质射出成型，耐酸碱、抗腐蚀性佳，适用温度80度以下。

2、结构简单，组装及维修方便，使用寿命长。

3、泵浦主体上设有排气阀，可将泵浦和管道内空气排除，防止吸入空气导致轴封损坏。
       
4、后轴封既可做一体成型方便组装，也可做分体式方便更换与维修。

5、前盖与法兰一体成型镶嵌螺丝，机械强度高。

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